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膜厚標準片
描述:

膜厚標準片是一種經過精密制備的參考標準件,其核心特征是具有已知且精確的薄膜厚度值。它通過在一個平整基片上制造出帶有薄膜與無薄膜的“臺階"結構,為各種膜厚測量儀器提供一個高度準確的可溯源基準,專門用于儀器的校準、驗證和測量精度的保證,是薄膜沉積和檢測領域中進行量值傳遞與質量控制的關鍵計量工具。

  • 產品型號:Ag/xx10uinch
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-11-14
  • 訪問量:2755
產品詳情/ PRODUCT DETAIL

標題:膜厚標準片

產品概述

  膜厚標準片是一種用于校準或檢驗膜厚儀測量精度的標準樣品,通常由一片金屬或塑料制成,上面具有不同厚度的涂層。
 
  Calmetrics是美國原廠制作標準片的專業認證公司,其生產的標準片質量精良,精度高、穩定性好。測厚儀標準片又名膜厚儀校準片,專業用于X射線測厚儀(膜厚儀)在測金屬鍍層厚度時進行的標準化校準及建立測試檔案。也就是我們在膜厚測試中常用的標準曲線法,是測量已知厚度或組成的標準樣品,根據熒光X-射線的能量強度及相應鍍層厚度的對應關系,來得到標準曲線。之后以此標準曲線來測量未知樣品,以得到鍍層厚度或組成比率。對于PCB、五金電鍍和半導體等行業使用測厚儀來檢測品質和控制成本起到了很重要的作用。標準片分單層標準片、雙層標準片、多層標準片,其中單層標準片又可分為單元素標準片、單元素薄片鍍在底材上、純元素底材標準片、合金薄片、合金鍍在底材上等,各種規格搭配,可根據客戶個性化需要定制。所有標準片都附有NIST認證證書我們可以根據客戶不同的金屬元素、鍍層結構及鍍層厚度等要求向美國工廠定做合格的標準片,并附有標準片厚度值證書。
 
  膜厚標準片-銀Ag/xx單鍍層標樣的其他一些常用規格厚度:
 
  關鍵特性與技術要求:
 
  1.標準厚度值:
 
  這是標準片最核心的參數。其厚度值是通過更高級別的測量方法精確測定并給予認證的,通常附帶一個不確定度。
 
  2.可溯源性:
 
  高質量的標準片其量值可以溯源至國家或國際計量機構,如中國的中國計量科學研究院(NIM)、美國的國家標準與技術研究院(NIST) 等。
 
  3.基材與膜層:
 
  基材:通常是硅片、玻璃、石英、金屬片等,要求表面非常平整、潔凈。
 
  膜層:常見的膜層有SiO?(二氧化硅)、Si?N?(氮化硅)、光刻膠、金屬(如Cr, Au, Al, Cu)等。用戶應根據自身被測薄膜的材料和厚度范圍來選擇相近的標準片。
 
  4.臺階結構:
 
  絕大多數標準片都采用“臺階”結構。即一部分區域有薄膜,相鄰區域沒有薄膜(通過刻蝕等方式去除),從而形成一個精確的高度差。這個高度差就是標準的膜厚值。測量儀器通過掃描這個臺階來得到厚度讀數。
 
       主要用途包括以下幾個方面:
 
  1、校準膜厚儀的測量精度:能夠提供一組已知的薄膜厚度值,通過與膜厚儀測量結果的比對,可以校準膜厚儀的測量精度。
 
  2、檢驗薄膜厚度的一致性:膜厚標準片可用于檢驗薄膜加工過程中不同批次或不同工藝條件下的薄膜厚度的一致性。通過測量標準片與實際薄膜的厚度差異,可以評估加工過程的穩定性和可重復性。
 
  3、評估薄膜加工工藝的性能:還可以用于評估不同薄膜加工工藝條件下的薄膜性能表現。通過測量不同工藝條件下的標準片薄膜厚度,可以評估加工工藝對薄膜性能的影響,從而指導工藝的優化和改進。
 
  4、研究薄膜加工過程的物理化學機制:也可以作為研究薄膜加工過程物理化學機制的一種手段,通過對標準片薄膜厚度變化規律的研究,可以揭示薄膜形成過程中的物理化學變化過程。
 
  5、在制造過程中,涂層或電鍍必須具有一定的厚度以確保其具有所需的性能。如果涂層或電鍍太薄,可能會導致產品的質量不足,而太厚則浪費了材料和金錢。因此,使用膜厚標準片可以幫助檢測涂層或電鍍的厚度是否符合標準,并確保產品的質量。
 
  6、在膜厚儀測試過程中,膜厚標準片的使用還可以幫助確認膜厚儀的工作狀態,防止在膜厚儀故障狀態下無法及時確認。它也可以用于X射線測厚儀在測金屬鍍層厚度時的標準化校準及建立測量分析檔案。
 
  Calmetrics鍍層標準片適用于各種品牌的X射線測厚儀(涂鍍層厚度測試儀)應用:適用于Fischer(菲希爾)、Oxford(牛津)、Seiko(精工)ELECFINE(日本電測)、Thermo(熱電)、Veeco、MicroPioneer、Seiko等各廠牌X-ray測厚儀(膜厚計)。
 

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